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                微电子所在快三软件-首页基于先进FinFET工艺的硅量子器件幸运快三在线平台研究中获进展

                发布时间:2021/2/20编辑:Ma Liang 人气:809

                  【快3平台 实验室ζ 动态】量子㊣计算是未来信息技术发展的重要方向,在一些特定领域具有较大应快三平台-Welcome用潜力。基于硅量子点的量子比特是实现通用量子中国福彩官网|中国福利彩票中心计算最有前景的方案之一,具有较长的退相干时间和出色的CMOS制造工◆艺兼容性。目前,硅量『子点量子计算正处在采用集成电路先进制造工艺实现量】子点规模集成并进行量子优彩网 - 专业的购彩平台比特扩展验证的关键研究◇阶段。

                  近期,中国科学院微电子研究所集成电路先导︻工艺研发中心研究员殷华湘带领的科研团队优彩彩票-首页基于主流的体硅高κ/金属栅FinFET工艺,提出韩国1.5分彩平台了一种利用拐角效应,在钻石形Fin沟道顶部尖端实现载ぷ流子局域化,并借助栅极两边快三平台计划侧墙的电势限制,构︽建量子点器件结构的方案。该器件在先导╳中心8吋工艺线辽宁快三平台_首页研制成功,集成方案完全兼容主流通用的先进CMOS工艺。在制备过程500万彩票-官网中,研▲究人员先后优化了Fin刻蚀、浅槽网信cp551-官网首页隔离等关键工艺,;在高κ/金属栅后栅工「艺中,利用氧化腐蚀∩的方法完成了衬底隔离的钻石形硅Fin沟∩道形貌修饰。在20 K低温电学测试中,该器件展示出明显的库▃伦振荡电流。研究人员通过分析库伦菱形稳定图,证明了该器件拥快3平台 快3手机版有较大的量子点充◤电能,具备在传统CMOS FinFET工艺中实现量子点规模▅化集成的潜力。

                  相关研究★成果发表在《电气和电子工程师协会电子快乐十二-官网器件学报》(IEEE Transactions on Electron Devices,DOI: 10.1109/TED.2020.3039734)上,微电子所博士生顾杰为论文第一作者。殷华湘、微电子所副研网盟彩票-首页_欢迎您究员张青竹为论文的通讯作者。研究工作得到科学技术部、国家自然科学々基金委、中科╲院的支持。

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